晶圆输送线OHT天车轮

在半导体制造的精密世界中，晶圆输送线OHT天车系统如同一条“空中高速公路”，以每秒5米的速度穿梭于洁净车间，将价值百万的晶圆精准送达数百台设备之间。而支撑这一高效运转的核心部件——OHT天车轮，正以纳米级精度与军工级可靠性，成为半导体制造智能化的关键基石，因此在半导体晶圆输送线中对OHT天车轮的要求也极为严苛。

晶圆输送线OHT天车

OHT天车轮的应用需同时满足洁净度、稳定性、耐久性及安全性等多重标准，以实现晶圆输送线全链条覆盖的“精密搬运”。

 一、洁净度与材料特性

1.洁净室等级适配及聚氨酯包胶层设计

OHT天车轮需满足 Class 10-100（ISO Class 1-5） 超净环境要求，且需要选用高性能聚氨酯包胶图层，颗粒脱落率趋近于零，尘埃粒径需 ≤0.1μm，且无纤维脱落。

实际应用表明，采用低产尘设计的聚氨酯轮可使车间微粒浓度 降低90%。

2.表面处理工艺

通过特殊表面处理（如抗静电涂层、低摩擦纹理）减少摩擦产尘，避免污染晶圆或光刻机等敏感设备。

二、 防静电性能

1.电阻控制范围

晶圆输送线OHT天车轮表面电阻需严格控制在 10⁴~10⁹Ω，防止静电吸附微尘或损伤晶圆内部的电气结构（如硅通孔TSV）。

2.特殊场景防护

在HBM制造等高精度环节（如晶圆键合），静电防护可避免键合失效，确保电气连接稳定性。

晶圆输送线OHT天车轮

三、 减震与稳定性

1.振动传递率

振动传递率 需<5%，确保搬运过程中晶圆盒（FOUP）或光刻机内部精密部件（如镜头）的位移量 <0.02mm。

2.高速重载适应性

需承载 ≥500kg 负荷（如满载晶圆盒），并在高速运行（OHT典型速度≥2m/s）下保持平稳，避免晶圆因振动破损。

四、 耐久性与耐磨性

1.耐磨指标

通过 Taber磨耗测试（ASTM D1044），标准要求磨耗量 ≤0.05g/1000转；寿命需支持 24/7连续运行，设计寿命通常 ≥50,000公里 无明显磨损。

2.材料性能保障

需维持高弹性模量、抗撕裂强度及耐化学腐蚀性（如抗蚀刻液溅射），确保在潮湿或化学暴露环境中性能稳定。

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