空中无人搬运车行走轮

　　空中无人搬运车(OHT)的聚氨酯行走轮是半导体制造自动化物料搬运系统(AMHS)的核心部件，其性能直接影响生产效率、良品率和设备寿命。以下从材料特性、功能优势、应用场景及维护保养等方面进行详细介绍：

　　一、材料特性：聚氨酯的独特优势

　　聚氨酯材料具有以下特性，使其成为OHT行走轮的理想选择：

　　1、高耐磨性：聚氨酯的耐磨性是天然橡胶的3-5倍，极端条件下甚至达到丁腈橡胶的5-8倍。高频次摩擦场景中，磨损率可控制在0.01-0.10cm³/1.61km，显著减少更换频率。

　　2、抗撕裂性强：能承受半导体工厂复杂环境中的冲击载荷，避免因撕裂导致停机事故。例如，在设备振动或碰撞时，聚氨酯轮不易断裂，确保生产连续性。

　　3、防静电性能：表面电阻率控制在10⁴-10⁹Ω范围内，有效导走摩擦产生的静电。EUV光刻车间要求电阻率更低(10⁴-10⁶Ω)，防止静电击穿HBM芯片。

　　4、低产尘与洁净度适配：满足Class 10-100洁净室标准，表面光滑无微孔，减少颗粒脱落。材料本身不释放挥发性有机化合物(VOCs)，避免污染晶圆表面。

　　5、环境适应性：可在-30℃至260℃(EUV光刻车间)或-20℃至80℃(常规半导体产线)范围内稳定运行，并耐受85%RH高湿度环境。对光刻胶、显影液、刻蚀液等化学物质具有耐受性，避免材料膨胀、开裂或性能下降。

　　二、功能优势：高精度与低维护

　　聚氨酯行走轮通过以下功能优势，提升OHT系统的整体性能：

　　1、高精度定位：低弹性变形特性使轮子在1-3m/s高速运行时保持±0.1mm定位精度，满足半导体设备对物料搬运的严苛要求。

　　2、低噪音运行：软接触设计(如轮子与轨道间采用弹性缓冲层)将运行噪音控制在<60dB(A)，减少对生产环境的干扰。

　　3、长寿命与低维护：正常工况下，聚氨酯轮的使用寿命可达5-8年，维护周期延长至1年以上，显著降低停机时间和维护成本。

　　4、平稳搬运：振动小，减少货物在运输过程中的损坏风险，尤其适用于晶圆等精密物料的搬运。

半导体OHT天车轮

　　三、应用场景：半导体制造的核心环节

　　聚氨酯行走轮广泛应用于半导体制造的多个关键环节：

　　1、晶圆搬运：在半导体前道工艺中，OHT系统通过聚氨酯轮将晶圆盒(FOUP)在不同工艺设备间高效、稳定地搬运，避免晶圆因振动或静电而损坏。

　　2、跨区运输：OHT系统不仅用于工序区内部运输，还用于工序区间或工厂间的跨区运输，实现EQ to EQ的直接搬送，大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time)。

　　3、高洁净度环境：适用于Class 10-100洁净室，满足半导体制造对微粒控制和洁净度的严格要求。

　　四、维护保养：确保长期稳定运行

　　为确保聚氨酯行走轮的长期稳定运行，需进行以下维护保养：

　　1、定期检查：

　　检查车轮磨损情况，当聚氨酯层磨损至剩余厚度小于5mm时，应及时更换车轮，避免轮毂与轨道直接接触导致损坏。

　　检查轮毂与聚氨酯层的结合状态，确保无剥离或裂纹。

　　检查轴承的润滑情况，确保转动灵活。

　　2、清洁保养：

　　使用无尘布擦拭车轮表面，避免使用有机溶剂，防止损伤聚氨酯层。

　　清除胎面嵌入的金属屑等杂质，防止行驶时划伤轨道。

　　3、存储条件：

　　未使用的车轮应存放在干燥、阴凉的环境中，避免阳光直射和高温。

　　空中无人搬运车OHT行走轮以高耐磨、抗撕裂、防静电及低产尘等特性，适配高洁净度与严苛环境要求，实现高精度定位、低噪音及长寿命运行，广泛应用于晶圆搬运、跨区运输等核心环节。通过定期检查磨损、清洁保养及规范存储，可确保其长期稳定运行，为半导体制造提供高效、可靠的物料搬运支持。