晶圆输送线OHT天车轮的寿命一般是多久？

在半导体制造的精密生态中，晶圆输送线OHT系统如同“空中物流动脉”，以每小时数十次的高频次运转，支撑着晶圆在光刻、刻蚀、清洗等数百道工序间的无缝流转。而作为OHT系统的核心部件，天车轮的寿命直接决定了生产线的连续性与良率。

结合半导体行业实践数据与部件特性，晶圆输送线 OHT 天车轮的常规使用寿命通常在10000-30000小时，若采用高品质材料与规范运维，寿命可延长至 30000-50000 小时，部分优质产品的平均无故障次数（MCBF）甚至能突破 50000 次。影响OHT天车轮寿命的核心因素有哪些？

1.材料与工艺品质

①OHT天车轮的材质选择直接决定其耐用性。主流高品质天车轮采用不锈钢轮芯 + 高性能聚氨酯包胶结构。

②不锈钢芯保障结构稳定性，聚氨酯层具备优异的耐磨性、弹性与抗撕裂性，能有效减少轨道摩擦损耗，延长使用寿命。此外，ESD-safe 防静电配方、无缝包胶工艺可避免脱胶、粉尘产生等问题，进一步提升寿命；若采用劣质材料或工艺，易出现包胶脱落、轮体变形，大幅缩短使用寿命。

③运行负荷与工况

2.晶圆输送线的运行强度对天车轮寿命影响显著：

①载重压力：长期承载超重晶圆盒会加剧轮体磨损，超出额定载重易导致轮面变形；

②运行频率：高频启停、高速移动会增加轮体与轨道的摩擦次数，加速损耗；

③轨道条件：轨道错位、粗糙或有杂质，会造成天车轮局部受力不均，引发异常磨损，这也是天车轮成为 OHT 系统易损耗部件的主要原因之一。

半导体晶圆输送线OHT天车轮

3.环境与维护水平

OHT天车轮工作于 ISO Class 5及以上洁净室环境，虽无粉尘干扰，但环境温湿度、维护频率仍会影响寿命：

①温湿度波动过大可能导致聚氨酯材料老化加速；

②缺乏定期清洁与检查，轨道残留的微量杂质会加剧磨损，而定期测量轮缘厚度、及时处理轨道偏差，可有效避免OHT天车轮表层磨损。

4.传动与结构设计

传动方式对寿命有间接影响：传统同步带传动易因皮带磨损产生粉尘，间接污染轮体与轨道，缩短寿命；而齿轮传动设计可减少磨损与粉尘产生，使天车轮寿命显著延长，且传动精度更稳定。

晶圆输送线 OHT 天车轮的寿命受材料品质、运行工况、维护水平等多重因素影响，常规寿命 10000-30000 小时，优质产品配合科学运维可突破30000小时。选择高品质部件、规范使用并做好定期维护，能有效延长其寿命，降低停机更换成本，保障晶圆输送线的高效稳定运行。