半导体晶圆搬运设备移动轮

在半导体制造的精密生态中，自动物料搬运系统（AMHS）承担着晶圆盒（FOUP/FOSB）在工艺设备、仓储系统与洁净室之间高效流转的核心任务。作为AMHS运行的“移动支点”，半导体晶圆搬运设备移动轮（包括OHT搬运轮、AGV车轮、Stocker传输滚轮等）不仅是机械传动部件，更是保障生产安全、洁净度与良率的关键元件。

一、设计特点：为“芯”环境量身打造

1.1防静电设计

采用抗静电聚氨酯包胶材料，表面与体积电阻稳定控制在10⁵～10⁹Ω，确保设备运行中产生的静电通过轮体有效导入接地系统，防止静电放电（ESD）损伤敏感晶圆。

超低发尘结构

聚氨酯材料致密无孔，配合精密包胶工艺，滚动过程中几乎不产生颗粒物，满足ISO Class 1-5级无尘车间要求，避免污染晶圆表面或工艺环境。

1.2高耐磨与长寿命

材料具备优异的抗撕裂、抗压缩和抗疲劳性能，适应OHT、AGV等系统7×24小时连续运行，显著降低更换频率与维护成本。

静音减震性能

聚氨酯弹性体有效吸收运行震动，减少设备噪音，保护晶圆在传输过程中免受机械冲击，提升系统运行平稳性。

1.3定制化结构设计

可根据OHT导向轮、AGV驱动轮、Stocker传送滚轮等不同应用场景，定制轮径、宽度、轮毂材质（导电尼龙、不锈钢、铝合金）、轴承类型及导电路径，确保完美匹配设备需求。

二、必须满足的关键要求

2.1 洁净度达标：无挥发、不析出，符合SEMI F21等洁净室材料标准。

2.2防静电合规：符合ANSI/ESD S20.20、IEC 61340国际标准。

2.3 耐化学性：可耐受异丙醇、去离子水等洁净室常用清洁剂。

2.4 尺寸精度高：确保运行平稳，减少轨道或传送带磨损。

2.5长期稳定性：在高温、高湿、高洁净环境下性能不衰减。

三、典型适用场景

3.1OHT天车系统：用于洁净室顶部轨道传输FOUP，要求轮体轻量化、低发尘、高导静电。

3.2AGV自动导引车：地面自动搬运晶圆盒，需静音、耐磨、防滑、防静电车轮。

3.3Stocker自动化仓储系统：晶圆盒存取与缓存，内部滚轮需高可靠性与低维护。

3.4晶圆搬运机器人及工艺设备内部传输机构：微型滚轮需高精度、小体积、无污染。

麦轮聚氨酯包胶轮厂家，专注半导体级移动轮研发与生产，以专业技术和严格品控，为OHT、AGV、Stocker等AMHS设备提供安全、洁净、高效的移动解决方案，助力晶圆制造迈向智能化与高良率。