洁净车间物料搬运辅助轮

在半导体、平板显示、生物医药等高精尖产业的无尘车间中，任何微小的污染或静电都可能造成重大损失。除了自动化系统（如OHT、AGV）外，大量人工或半自动物料搬运设备同样需要配备专业的洁净室物料搬运辅助轮，以确保整个生产环境的洁净与安全。

这些看似不起眼的“辅助轮”，实则肩负着关键使命：在保障设备灵活移动的同时，杜绝颗粒污染与静电风险，是维持无尘车间稳定运行的重要一环。

一、洁净室物料搬运辅助轮的核心作用

1.1有效控制静电（ESD防护）

半导体晶圆对静电极为敏感。普通车轮在滚动时易产生数千伏静电，可能导致器件击穿。洁净室专用防静电包胶轮采用导电或抗静电聚氨酯材料，电阻值控制在10⁵～10⁹Ω，确保静电快速泄放，保护敏感元器件。

1.2超低发尘，维持洁净环境

采用高纯度、致密型聚氨酯包胶，耐磨不掉屑，滚动时几乎不产生微粒，满足ISO Class 1-5级无尘车间要求，避免污染晶圆、光罩或工艺设备。

1.3静音减震，提升操作体验

聚氨酯材质弹性好，运行安静，减少车间噪音；同时缓冲震动，保护精密物料在运输过程中不受损伤。

1.4耐化学腐蚀，适应频繁清洁

可耐受异丙醇、去离子水等洁净室常用清洁剂，不易老化，延长使用寿命。

1.5高承载与长寿命

适用于重型物料推车、设备底座等场景，具备优异的抗压和耐磨性能，降低维护成本。

二、在半导体车间的具体应用场景

2.1晶圆盒（FOUP）搬运推车轮

用于人工或半自动转运晶圆前开式传送盒，车轮必须防静电、无尘，防止晶圆在短途搬运中受污染或静电损伤。

2.2工艺设备移动底座脚轮

光刻机、刻蚀机、薄膜设备等大型机台在调试或维护时需移动，配备防静电脚轮可确保设备整体接地良好，避免局部带电。

2.3洁净室工具车与备件架轮

存放工具、备品备件的推车频繁进出洁净区，使用专用包胶轮可防止外部污染带入，同时保障操作安全。

2.4化学品与气体瓶运输车轮

运输高纯化学品或特种气体的推车需具备防静电、耐腐蚀特性，防止泄漏或静电火花风险。

2.5洁净室工作台与检测平台脚轮

高精度检测台、显微镜平台等需微调位置，配备低噪音、防静电轮可确保设备稳定运行。

昆山专业聚氨酯包胶轮厂家，专注为半导体无尘车间提供高品质洁净车间物料运输包胶轮。我们采用优质抗静电聚氨酯材料，支持多种轮径、轮宽、轮毂材质（导电尼龙、不锈钢）及安装方式定制，确保每一款产品都符合洁净与安全标准。