半导体无尘车间防静电车轮
昆山聚氨酯包胶轮厂家提供半导体无尘车间专用防静电车轮,低发尘、高耐磨、高效导静电,广泛应用于OHT空中输送系统、洁净室AGV小车、半导体行车等设备,满足ISO Class 1级洁净要求,为晶圆制造提供安全可靠的移动解决方案。
昆山聚氨酯包胶轮厂家提供半导体无尘车间专用防静电车轮,低发尘、高耐磨、高效导静电,广泛应用于OHT空中输送系统、洁净室AGV小车、半导体行车等设备,满足ISO Class 1级洁净要求,为晶圆制造提供安全可靠的移动解决方案。
在半导体制造的高精尖领域,生产环境的洁净度与静电控制是决定芯片良率的核心要素。从晶圆制造到封装测试,任何微小的颗粒污染或静电放电(ESD)都可能导致价值高昂的晶圆报废。作为物料传输系统中不可或缺的“移动关节”,半导体防静电车轮在保障无尘车间安全、稳定运行中扮演着至关重要的角色。

作为深耕行业多年的昆山聚氨酯包胶轮专业生产厂家,我们专注于为半导体产业提供高性能、高洁净度、全系列的防静电聚氨酯车轮解决方案,广泛应用于OHT空中输送系统、洁净室AGV小车、半导体专用行车等关键设备。
一、半导体无尘车间防静电车轮的核心作用与技术特点
在ISO Class 1至5级的超净环境中,普通车轮因摩擦生电、磨损产尘等问题,已完全无法满足生产要求。半导体级防静电聚氨酯车轮应运而生,具备以下关键特性:
1. 高效防静电,杜绝ESD风险
采用抗静电聚氨酯材料,表面电阻和体积电阻稳定控制在 10⁵~10⁹Ω 范围内,符合ANSI/ESD S20.20、IEC 61340等国际标准。
确保设备在运行过程中产生的静电能够通过车轮快速导入地面,避免电荷积累,保护敏感的半导体器件。
2. 超低发尘,守护洁净环境
高纯度聚氨酯包胶层致密耐磨,滚动时几乎不产生颗粒物,满足Class 10(ISO 4)及以上洁净室标准。
材料无挥发、不析出,避免对工艺气体和光刻环境造成污染。
3. 高耐磨与长寿命
聚氨酯具有优异的抗撕裂、抗压缩和抗疲劳性能,适用于高频次、长时间连续运行的自动化系统,显著降低维护频率和更换成本。
4. 静音减震,提升运行稳定性
弹性良好的聚氨酯材质可有效吸收震动,减少设备运行噪音,同时保护晶圆、光罩等精密物料在传输过程中免受冲击。
5. 耐化学腐蚀与环境适应性强
可定制耐异丙醇(IPA)、去离子水、弱酸弱碱等清洁剂的配方,适应半导体车间频繁清洁的严苛环境。
6. 多样化定制能力
支持定制轮径(Φ30mm–Φ300mm)、轮宽、轮毂材质(导电尼龙、不锈钢、铝合金)、轴承类型(密封防尘轴承)、导电路径设计等,满足不同设备的安装与性能需求。
二、防静电车轮在半导体车间的关键应用场景
我们的防静电聚氨酯车轮已广泛应用于以下核心传输与搬运设备:
1. OHT(Overhead Hoist Transport)空中输送装置轮
应用特点:OHT系统是现代晶圆厂实现自动化物流的“空中高速公路”,用于在洁净室天花板轨道上高速、平稳地输送FOUP(晶圆前开式传送盒)。
车轮要求:必须具备极低发尘、高精度运行、长期免维护和可靠防静电性能。我们提供的导电型聚氨酯导向轮与承载轮,确保OHT在高速运行中不产生静电积累,同时减少颗粒掉落,保障空中传输的洁净与安全。
2. 洁净室AGV(自动导引车)小车轮
应用特点:AGV用于地面物料自动搬运,如晶圆盒、备件、化学品等,需在复杂路径中精准导航。
车轮要求:除防静电、低发尘外,还需具备良好的地面适应性、静音性和耐磨性。我们为AGV定制的全向轮、驱动轮、随动轮,均采用抗静电聚氨酯包胶,确保车辆在长时间运行中不干扰传感器信号,提升系统稳定性。
3. 半导体专用行车/天车行走轮
应用特点:用于洁净室内大型设备模块、反应腔体的吊装与移动,承载重量大,运行平稳性要求高。
车轮要求:需具备高承载能力、防静电导通设计,防止吊装过程中因摩擦产生静电火花或干扰设备。我们提供的重型防静电行走轮,采用金属轮毂+抗静电聚氨酯包胶结构,确保行车在轨道上安全、平稳、无静电运行。
4. 其他应用设备
晶圆搬运推车、工艺设备配套物料架、洁净室工作台脚轮、检测设备移动底座等,均需配备符合洁净与防静电标准的车轮系统。
三、为什么选择昆山专业聚氨酯包胶轮厂家?
3.1本地化生产,响应迅速:位于长三角半导体产业核心区,贴近客户需求,支持快速打样与交付。
3.2 技术领先,品质保障:拥有自主材料配方与先进包胶工艺,每批次产品均经过电阻、耐磨、洁净度等严格检测。
3.3定制化服务:可根据设备图纸或样品,提供一对一解决方案,满足OEM与替换需求。
3.4 行业经验丰富:产品已成功应用于多家国内外知名晶圆厂、封测厂及设备制造商。
菲尔森--洁净室半导体包胶轮厂家
在半导体制造的“无声战场”中,每一个细节都关乎成败。防静电聚氨酯车轮虽小,却是连接洁净、安全与效率的关键一环。菲尔森聚氨酯包胶轮厂家,以专业、匠心与创新,为OHT、AGV、行车等核心设备提供可靠的移动解决方案,助力中国“芯”制造迈向更高水平。